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真空紫外濾光片是一種專門用于過濾真空紫外波段（波長范圍通常為10-200nm）光線的光學(xué)元件。
主要特點(diǎn)
具有高透過率和低吸收率，能夠在真空紫外波段實現(xiàn)對特定波長光線的高效過濾和選擇；此外，還具備良好的光學(xué)均勻性、穩(wěn)定性及抗輻射能力，以保證在真空紫外環(huán)境下的可靠工作。
工作原理?
- 吸收原理：利用某些材料對特定波長真空紫外光的吸收特性，將不需要的波長光線吸收掉，只允許特定波長范圍的真空紫外光通過。如一些金屬鹵化物薄膜材料，對特定波長的真空紫外光有強(qiáng)烈吸收作用。
- 干涉原理：通過在基底材料上鍍制多層不同折射率的薄膜，使真空紫外光在薄膜層間發(fā)生干涉現(xiàn)象。當(dāng)滿足特定條件時，特定波長的真空紫外光發(fā)生相長干涉而透過濾光片，其他波長的光則發(fā)生相消干涉被反射或吸收。
材料選擇?
- 基底材料：常用的有熔融石英、氟化鎂、藍(lán)寶石等。熔融石英在真空紫外波段具有較好的透過性和化學(xué)穩(wěn)定性；氟化鎂晶體具有低折射率、高紫外透過率的特點(diǎn)；藍(lán)寶石則具有較高的硬度和機(jī)械強(qiáng)度，能承受惡劣環(huán)境。
- 鍍膜材料：如二氧化硅、三氧化二鋁、氟化鎂等，這些材料具有合適的折射率和光學(xué)性能，可通過物理或化學(xué)方法鍍在基底上，形成多層薄膜結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)對真空紫外光的濾波功能。
應(yīng)用領(lǐng)域?
- 科研領(lǐng)域：在真空紫外光譜儀中，用于選擇特定波長的真空紫外光，進(jìn)行物質(zhì)的光譜分析，研究物質(zhì)在真空紫外波段的光學(xué)性質(zhì)；在同步輻射光源、真空紫外激光等實驗裝置中，用于光束的濾波和整形，提高實驗的精度和可靠性。
- 半導(dǎo)體工業(yè)：在光刻技術(shù)中，用于產(chǎn)生特定波長的真空紫外光，實現(xiàn)對半導(dǎo)體芯片的精細(xì)光刻，制造更小尺寸的集成電路器件。
- 天文學(xué)領(lǐng)域：用于天文觀測設(shè)備，如太空望遠(yuǎn)鏡等，過濾掉其他波長的光線，只允許真空紫外波段的星光通過，幫助天文學(xué)家研究恒星、星系等天體在真空紫外波段的輻射特征。
- 環(huán)境監(jiān)測：可用于監(jiān)測大氣中的臭氧、氮氧化物等污染物在真空紫外波段的吸收特性，實現(xiàn)對大氣環(huán)境的實時監(jiān)測和污染評估。
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